Strahlverfahren

Strahlverfahren
Strahlverfahren,
 
1) Fertigungstechnik: Strahlen.
 
 2) Physik: die Herstellung dünner Schichten durch Abscheidung des gewünschten Stoffs mittels Atom- oder Molekülstrahlen auf einem Trägermaterial (Substrat). Je nach Abscheidungsbedingungen entstehen Schichten mit amorpher, polykristalliner oder einkristalliner (pseudomorpher) Struktur. (Epitaxie)

Universal-Lexikon. 2012.

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